根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，浙江大学就电子束曝光机进行公开招标，欢迎国内合格的供应商前来投标。
一、招标项目编号:-22-2010-0119
采购组织类型：分散采购自行组织
二、招标项目概况（内容、用途、数量、简要技术要求等）:
标项：电子束曝光机一套主要技术要求：
一、组成：
1、主机(电子光学系统、工作台、真空腔体及真空锁、扫描电子成像观察系统)
2、肖特基场发射电子枪
3、系统控制及电源柜
4、干泵
5、隔震平台
6、不间断供电电源(UPS)
7、控制主机及显示器
二、硬件指标:
1、最大加速电压：≥30KeV
2、最小束斑:≤4nm（请投标方提供具体定义及测量方法）
3、束斑位置稳定性：<=200nm/8hrs
4、最大使用电子束流：≥20nA
5、束流稳定：<0.5%/8hrs
6、扫描频率：≥12MHZ,最小步距≤1.6nm
7、SEM:放大倍数≥100万倍
8、样品台配有激光干涉测量定位系统，定位精度：≤1nm
9、工作台最大移动速度：≥2mm/sec
10、工作台行程范围：≥100mmx100mm
11、样品尺寸：要求提供的工作台能承载直径≥100mm晶片,同时能承载5mm-50mm非规整形状样品
三、工艺指标设备用途：主要功能是电子束直写，可以多层套刻，也可与接触式光刻机配合进行混合光刻（Mix&Match），以便在大尺寸器件上制作微纳精细结构。配合高质量光学薄膜生长、刻蚀等一系列设备，完成纳米精度的光、电子器件的实验室制作。主要应用包括高集成度光子和光电子器件的制作：包括纳米波导、亚波长宽深刻蚀槽、光子晶体微腔、纳米光栅等超小尺寸的亚波长结构等。
1、最小线宽（1）光刻胶厚度：≥30nm线条宽度：≤10nm（2）光刻胶厚度：≥250nm线条宽度：≤30nm，线条长度：≥100mm（3）测试样品:4英寸Si晶片
2、拼场/套刻精度（1）线条宽度：≤20nm，写场：≥100mm（2）光刻胶厚度：≥100nm（3）测试样品:4英寸Si晶片（4）拼场/套刻精度:35nm,均值+3σ
3、连续直线条（1）线条宽度：≤50nm，线条长度：≥20mm（2）光刻胶厚度：≥100nm（3）测试样品:4英寸Si晶片（4）拼场精度:10nm注：投标方必须提供“工艺指标”中涉及的各个参数的详细测量标准和步骤。
标准附件、标准工具及选配件：
1、标准附件及工具：按标准配置由厂家提供，包括备品备件、消耗品及专用工具。
2、选配件产品配置要求：
1、电子束曝光机：1套
2、提供安装有在线操作软件的操作服务器1套，并且额外提供至少1套安装有全套软件的离线操作服务器及2套离线操作软件。
3、操作及安装手册各1套
4、维护操作手册和维修电路图各1套
5、标准附件及工具：用于3年的备品备件及消耗品。1套专用工具。
验收标准：
1、参见技术规格
2、设备标准应符合厂家公开的技术文件，验收程序严格遵守厂家提供的公开验收文件,所有内容须在安装现场演示,其结果须在要求范围之内。
运行环境：
1、房间温度：19~21℃
2、温度变化：<±1℃
3、温度变化速率：<±0.1℃/H
4、相对湿度：40%~60%
5、磁场变化：<600nT,0.1~10KHz。
6、适用电源：单相，220V~240V，50/60Hz。
7、地线：电阻＜1Ω
8、投标方若对安装环境有其它特殊要求，请详细列出。若涉及到相关改造，请在投标时同时报价。
技术服务:
1、保修期：自仪器安装调试合格，双方签署验收报告之日起的叁年。第四、五年人工免费，仅收取零配件成本价。
2、保修期内软硬件出现问题，应在接到用户通知后二十四个小时内给予解决方案，两个工作日内到达用户现场解决问题。重大问题或其它无法立刻解决的问题应在一周内解决或提出明确的解决方案，如因中标方原因不能及时修复，保修期将相应顺延。
3、中标方提供终身维修，并保证终身免费提供软件升级。
4、仪器到货后，中标方需在接到用户通知后10个工作日内进行安装调试
提供用户管理人员（>=5人）的现场操作使用及基本维护的免费现场培训，用户使用仪器一段时间后，中标方对用户相关人员进行进一步操作和技术培训。总培训次数不小于2次。交货时间：合同生效后6个月内。
三、投标供应商资格要求:
（一）符合《中华人民共和国政府采购法》对投标主体的要求
（二）注册资金50万元人民币（含）以上。
四、招标文件的发售时间及地点等:
时间：2010年5月25日至2010年6月4日(双休日及法定节假日除外)
上午：8:30-11:30
下午：13:30-16:30
地点：浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四139室）
标书售价(元)：每本500（售后不退）
五、投标截止时间：2010年6月11日 13:30
六、投标地点：浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四教学大楼156室）
七、开标时间：2010年6月11日 13:30
八、开标地点：浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四教学大楼156室）
九、投标保证金：
投标保证金：20000.0
交付方式：现金/汇票/支票/银行转帐/
收款单位（户名）：
开户银行：
银行账号：
十、其他事项：
1、投标人购买标书时应提交的资料：a)企业营业执照副本（复印件加盖公章）
b)法定代表人授权委托书（原件）
2、
联系方式
采购人名称：浙江大学
地点：浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四139室）
联系人：申老师
联系电话：0571-88981325
传真：
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