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| 微细加工技术 |
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书 名 |
微细加工技术 |
| 定 价 |
35.0000 |
| 作 者 |
刘明谢、常青等 编著 |
| 开 本 |
16 |
| 书 号 |
7-5025-6077-7 |
| 机 号 |
null |
| 装 帧 |
平膜 |
| 加入日期 |
2004-10-01 00:00:00.0 |
| 点击数：18 |
版 次 |
1版1次 |
| 本书是《现代加工技术丛书》之一。本书从微细加工技术的基础知识讲起，较为详细地介绍了光学曝光技术、光学分辨率增强技术、电子束光刻技术、X射线光刻技术、极端远紫外光刻技术、刻蚀技术以及其他纳米加工技术。本书较为全面地反映了我国微细加工技术的现状，并在此基础上介绍了国际微细加工的先进技术及其发展趋势。 |
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