 |
图书搜索： |
|
|
| 硅微机械加工技术 |
|
书 名 |
硅微机械加工技术 |
| 定 价 |
58.0000 |
| 作 者 |
[法]埃尔温斯波克(Elwenspoek,M),[捷]扬森(Jansen,H)著 |
| 开 本 |
16 |
| 书 号 |
978-7-5025-9258-5 |
| 机 号 |
null |
| 装 帧 |
平 |
| 加入日期 |
2007-05-01 00:00:00.0 |
| 点击数：95 |
版 次 |
1版1次 |
| 英国剑桥大学出版社出版的《Silicon Micromachining》是一本关于微系统加工工艺方面的专著，作者MElwenspoek和HJansen等人从事过多年微系统加工工艺方面的研究工作，具有非常丰富的研究经验。本书的主要内容包括：（1）硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述；（2）硅的表面微机械加工技术；（3）LIGA工艺；（4）硅硅直接键合工艺；（5）硅的干法腐蚀工艺及物理机制等，涵盖了微机械系统加工工艺中的主要内容，而且其内容经过多次修订，并在法国和英国等大学试用。本书基本概念清楚，具有一定参考价值，适合MEMS领域工程技术人员、研究生和高年级本科生阅读和使用。 |
|
|
|
|
|
|
