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公司名称：
北京帅恩科技有限责任公司
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参考价格：
未标明
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发布时间：
2005-12-21
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| 产品描述： |
| BOC Edwards EXT泵适用于除最苛刻的半导体应用和科学应用（这些领域可使用STP系列泵）以外的任何领域。STP系列泵使用电磁轴承，EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷轴承和磁轴承的组合形式。陶瓷轴承与传统轴承相比具有更轻、更硬和更平稳的优点，以及寿命长、小振动的优点。由于轴承滚珠和轴承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。 |
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Edwards EXT70涡轮分子泵的详细介绍
入口法兰 DN40NW, DN50NW, DN63CF or DN63ISO-K
压缩比
N2 >1×108
He 6000
H2 500
出口法兰 DN16NW
前级泵（推荐） E2M0.7
出气口 ⅛ inch BSP 母
最大连续入口压力
15℃水冷 9×10-1 mbar
35℃风冷 9×10-2 mbar
30℃自然对流 9 ×10-3 mbar
额定转速 90000 rpm
工作转速 63000 rpm
90%转速启动时间 90s
冷却模式 自然对流、风冷、水冷
入口法兰最高温度 100℃
环境温度范围
自然对流 0-30℃
风冷 0-35℃
水温范围（水冷） 10-20℃
最小耗水量(15℃) 15 l h-1
工作姿态 垂直向上
1米噪音 <50 dB（A）
最大磁场 5 mT
控制器（推荐） EXC100或EXC120
功率 10 W
入口法兰 DN40NW DN50NW DN63CF DN63ISO-K
抽速 (ls-1)
N2 52 60 65 65
He 53 56 60 60
H2 46 48 50 50
极限真空(mbar) <5×10-9 <5×10-9 <5×10-10 <5×10-9
重量 (kg) 1.4 1.4 3.4 1.5
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