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  上海兑爵商贸有限公司  

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EP3nanofilm呈像椭偏仪

公司名称: 上海兑爵商贸有限公司
参考价格: 未标明
发布时间: 2006-06-08
产品描述:
德国nanofilm公司于1991年开发出了世界上第一台Brewster角显微镜(BAM)。近几年来,nanofilm又相继推出了不同用途的BAM产品以及相应的配套仪器。
EP3nanofilm呈像椭偏仪的详细介绍
1./ 原理: Auto-Nulling Imaging Ellipsometer in PCSA 
configuration
2./ Delta/Psi resolution: 0.001 deg.

3./ Absolute accuracy: 0.01 deg.

4./ thickness measurement accuracy: < 0.1 nm 

5./ CCD camera: 768 x 572 pixels

6./ Imageing optics: * 10X Objective
               * field-of-view : 0.44 mm
               * resolution: 2 µm
               * limiting ang: 68 deg.

6./ light sources: solid stated laser
* Wavelenghth : 532 nm
             * Power : 50 mW 
             * can upgrade to multiple wavelengths 
             number of lasers: 3-5 
             laser to laser switch time: < 5 sec.   

7. setup: aluminum frame construction with internal electronic
       dimensions: 1060 x 900 x 1700 mm
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