型 号:R46AWM3300V
量 程(sccm):0～+1000
压 力:--
工作电源电压(VDC)电流(mA)功率(mW):10.0±0.013 max30 typ
外/内管径(mm):5.1/3.6
响应时间(ms):3 Max
输出电压(VDC):5±0.15＠4.98 mbar
零点电压(VDC):1.0±0.05
输出电压漂移-25～25℃25～85℃(%FSO):±6.5±9.0
零点漂移(mv)-25～85℃:±25
灵 敏 度(mV/sccm):4 ＠200sccm
迟滞、重复性(%FSO):±1.0 max
工作温度(℃):-25～+85
存储温度(℃):-40～+90
压差(mbar):1.5＠±1000sccm
过压(mbar):345
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气体流量传感器R46AWM3300V
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