性能指标
部件描述
性能参数 单位
通径:8 mm
最大流量： 10,20,30,40,50 SLPM
量程比：100：1
精度%： ±(1.5+0.2FS)
重复性%： 0.75
零点输出漂移mV：±30
输出漂移% / ℃：0.16
响应时间ms：100(默认，50，100，200，500，1000可设置)
工作电源：8～18Vdc，100mA
输出方式：RS232, RS485, 模拟电压0.5~4.5Vdc
显示方式：4位7段LED数码管显示，2个指示灯
指示单位：瞬时流量：SLPM；累积流量：SL
显示分辨率SLPM： 0.01，0.1可设置
最大流量压损： 600 Pa
最大工作压力MPa：1.0
工作温度℃：-10～+55
储存温度℃：-20～+65
工作湿度%RH：<95
机械接口：R 1/4, NPT 1/4, 4mm/6mm/8mm快速接头
键盘：三个按键
引出线：5针插头，配0.5m电缆
标准校准气体空气(或其他气体)，20℃，101.325kPa
重量g：57


工作原理
小流量气体质量流量计是自主研制的MEMS流量
传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气
体的质量流量。
该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成
稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，
形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流量计芯片上的传感器将
测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理
并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不
同，因而能测量气体的质量流量或总流量。

安装使用
请按以下顺序安装和使用流量计：
1）打开产品包装盒，包装盒内应包含下列物品：
a）质量流量计一只；
b）带接头连接电缆一根；
c）说明书一份；
d）合格证一份;
2）确认产品无任何机械损坏;
3）将产品的引线按照所给定义正确连接到使用装置上;
4）确认连接正确后，接通电源;
5）接通电源预热15分钟后测量的参数值精度会更高。

RS232通讯方式
操作模式:
1.通过RS232流量计发0x9d,并取得流量计的返回信号0x9d;
2.通过RS232流量计发0x54,并取得流量计的返回信号0x54;
发送的两个字节时间间隔必须超过5ms。流量计将进入操作模式，每隔设定的响应时
间从RS232输出一组数据，数据格式如下：
V=vvvv\nF=ffffffff\nA=aaaaaaaa\n; \n
V=vvvv 电压内码;
F=ffffffff 流量;相当于fffff.fff SLPM
A=aaaaaaaa 代表总流量，相当于aaaaaaa.aaa SL。
用户模式:
1.通过RS232流量计发0x9d,并取得流量计的返回信号0x9d;
2.通过RS232流量计发0x00,并取得流量计的返回信号0x00;
发送的两个字节时间间隔必须超过5ms。流量计将进入用户模式，RS232输出停止
数据输出。
流量连续输出模式:
1.通过RS232流量计发0x9d,并取得流量计的返回信号0x9d;
2.通过RS232流量计发0x56,并取得流量计的返回信号0x56;
发送的两个字节时间间隔必须超过5ms。流量计将进入连续输出模式，每隔设定的响
应时间从RS232输出一组数据，数据格式如下：
F=ffffffff\n; \n
其中 F=ffffffff含义同上。
查询瞬时流量模式:
1.通过RS232流量计发0x9d,并取得流量计的返回信号0x9d;
2.通过RS232流量计发0x55,并取得流量计的返回信号0x55;
发送的两个字节时间间隔必须超过5ms。流量计将返回一个瞬时流量值，格式为
"ffffffff”, 代表顺时流量fffff.fffSLPM。
数据流定义

a）波特率：38400 bps；
b）数据位：8位；
c）停止位：1位；
d）校验位：无；
e）流控制：无。