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M冷场发射扫描电子显微镜

公司名称: 北京中西远大科技有限公司成都办事处
参考价格: 未标明
发布时间: 2012-07-13
产品描述:
冷场发射扫描电子显微镜 简介 为什么有经验的电镜技术人员选择日立而不选择其他品牌,原因就是:在过去30多年中,日立一直提供高质量的、经久耐用的冷场发射电子显微镜,提供优质的显微图像,这是科学家们多年来一直称赞的。 特点: 1. 低加速电压时具有高分辨率,在1kV时保证有2.1nm的分辨率 2. 在较长的12mm工作距离状态下,常规显微观察 * 可以通过气阀更换样品,无需重新定位。 * 在15kV加速电压时具有1.5nm的高分辨率。 * 无需改变工作距离而使样品倾斜45度。 * 在正常情况下高能X-射线与电子束的取出角为30度。 * 最适用的电子束动移为±15祄。 3. 日立独有的检测器可以检测二次电(SE)及背散射电子,操作者可选择SE、BSE或二者皆选以便得到最好的样品图象。 4. 通过计算机完成镜筒安装不必改变物镜光阑,操作者可以通过鼠标点击 琀? ̄?? 就可以在超高分辨率模式与分析模式间切换。 5. 独特的物镜设计允许同时安装YAG型BSE检测器及EDX 检测器。 技术指标 : 二次电子成像分辨率:2.1 nm (1 kV) 1.5 nm ( 15 kV,工作距离 W.D. 12 mm 或X-射线分析位置). 背散射电子分辨率:3.0nm(15kV,YAG检测器,可选) 电子光学: 电子枪:冷场发射电子源 加速电压:0.5~30 kV (0.1 kV/步,可变) 探针电流:1 pA ~2 nA (取决于加速电压) 放大倍率:x 20~ x 500,000 物镜光阑:加热可移动光阑,4孔,真空外部选择和调校 样品台: (1)平动X:0~ 25 mm Y:0 ~25 mm Z:1.5 ~26.5 mm T:-5 ~+45 度 R:360 度 驱动:手动 (2)平动X:0~ 100 mm Y:0 ~50 mm Z:1.5 ~30.0 mm T:-5 ~+60 度 R:360 度 驱动:PC控制,5轴驱动 自动数据记录:自动调节亮度和对比度 电子图像移动:光栅旋转,自动聚焦,自动象散校正, 平均, 帧积分, 伪彩色显示. 真空系统:胶卷号,加速电压,微米标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离 系统:±15 祄( W.D. = 12mm) 真空度: 泵:气动阀自动控制真空次序 保护 :~ 10-7 Pa (电子枪), ~10-4 Pa (样品室) 前级泵 140 l/min(168 l/min运行时)×2 sets,60 Hz 扩散泵 570 l/s × 1 set及离子泵× 3 sets 断电、缺水、失真空保护
M冷场发射扫描电子显微镜 的详细介绍
冷场发射扫描电子显微镜  
简介 
为什么有经验的电镜技术人员选择日立而不选择其他品牌,原因就是:在过去30多年中,日立一直提供高质量的、经久耐用的冷场发射电子显微镜,提供优质的显微图像,这是科学家们多年来一直称赞的。 
特点:

1. 低加速电压时具有高分辨率,在1kV时保证有2.1nm的分辨率
2. 在较长的12mm工作距离状态下,常规显微观察
* 可以通过气阀更换样品,无需重新定位。
* 在15kV加速电压时具有1.5nm的高分辨率。
* 无需改变工作距离而使样品倾斜45度。
* 在正常情况下高能X-射线与电子束的取出角为30度。
* 最适用的电子束动移为±15祄。
3. 日立独有的检测器可以检测二次电(SE)及背散射电子,操作者可选择SE、BSE或二者皆选以便得到最好的样品图象。 
4. 通过计算机完成镜筒安装不必改变物镜光阑,操作者可以通过鼠标点击 琀? ̄?? 就可以在超高分辨率模式与分析模式间切换。
5. 独特的物镜设计允许同时安装YAG型BSE检测器及EDX 检测器。 

技术指标 : 
二次电子成像分辨率:2.1 nm (1 kV) 1.5 nm ( 15 kV,工作距离 W.D. 12 mm 或X-射线分析位置).
背散射电子分辨率:3.0nm(15kV,YAG检测器,可选) 
电子光学:
电子枪:冷场发射电子源
加速电压:0.5~30 kV (0.1 kV/步,可变)
探针电流:1 pA ~2 nA (取决于加速电压)
放大倍率:x 20~ x 500,000
物镜光阑:加热可移动光阑,4孔,真空外部选择和调校
样品台:
(1)平动X:0~ 25 mm Y:0 ~25 mm 
Z:1.5 ~26.5 mm T:-5 ~+45 度 R:360 度 
驱动:手动
(2)平动X:0~ 100 mm Y:0 ~50 mm 
Z:1.5 ~30.0 mm T:-5 ~+60 度 R:360 度 
驱动:PC控制,5轴驱动
自动数据记录:自动调节亮度和对比度 
电子图像移动:光栅旋转,自动聚焦,自动象散校正,
平均, 帧积分, 伪彩色显示.
真空系统:胶卷号,加速电压,微米标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离
系统:±15 祄( W.D. = 12mm)
真空度:
泵:气动阀自动控制真空次序
保护 :~ 10-7 Pa (电子枪), ~10-4 Pa (样品室)
前级泵 140 l/min(168 l/min运行时)×2 sets,60 Hz 
扩散泵 570 l/s × 1 set及离子泵× 3 sets
断电、缺水、失真空保护 
 
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