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公司名称：
深圳市迪赛光电技术有限公司
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参考价格：
0
元
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发布时间：
2010-11-23
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| 产品描述： |
| 单晶、多晶及各种薄膜太阳能电池的折射率和膜厚测量领域，既适合科研院所研究使用，亦适合工厂进行工艺研究分析和产线上产品检测以及EM01系列激光椭偏仪家族的传统领域，包括半导体、集成电路、微电子、光学镀膜、医学与生命科学、电化学、平板显示领域、磁介质存储、聚合物、新材料、金属处理等 |
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EM01-PV-II激光椭偏仪的详细介绍
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激光波长
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632.8nm (He-Ne laser)
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膜层厚度精度
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0.01nm (对于Si基底上110nm的SiO2膜层)
0.05nm (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)
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折射率精度
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1x10-4 (对于Si基底上110nm的SiO2膜层)
5x10-4 (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)
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光学结构
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PSCA
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激光光束直径
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<1mm
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入射角度
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40°-90°可选，步进5°
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样品方位调整
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三维平移调节：±12.5mm（X-Y-Z三轴）
二维俯仰调节：±4°
光学自准直系统对准
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样品台尺寸
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Φ170mm
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单次测量时间
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0.2s
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推荐测量范围
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0-2000nm
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最大外形尺寸(长x宽x高)
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887 x 332 x 552mm (入射角为90º时)
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仪器重量（净重）
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25Kg
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