创新的具有极佳的动力耦合和散热能力的整体水冷双同轴射频线圈相结合。射频线圈的设计促成了无可比拟的等离子体稳定性和重复性。我们提供能互换的孔径板用于需改变气体流导生长GaN，混合As/N材料和N掺杂不同的配置。排出孔的设计最大限度地减少了束中的离子含量。我们还提供为多种商业化系统定制的实现高均匀性的孔径板。www.winstrument.cn您也可以选用另一种等离子球用于氧相关的生长。