名称：表面形貌测量仪 
型号：XM-200  
  
仪器资料： 
  
    部件名称       内容

X方向移动   
导轨类型 高精度滑动导轨
移动长度 200mm
直线精度 0.5 μ m/100mm
测量方式 光栅计数

轮廓形状测量
传感器类别  高精度差动电感式
测量范围 ± 0.03mm，±0.5mm，±4mm
显示分辨率 0.001μm,0.017μm,0.13μm
相对误差 0.005FS

粗糙度测量Ra、Rz、Ry 、 S、S m、 t p
测量参数等标准参数
测量范围 R a 0.01～10μm
显示分辨率 65536:1
相对误差 3 %
                部件名称
Z方向移动(立拄)
导轨类型 高精度滑动导轨
移动长度 400mm
驱动方式 滚珠丝杠
测量方式 编码器

附 件(选配) 水平、倾角、摆角调整
安装轴承
三维调整工作台
轴承专用工作台

Y 向移动台（选购） 形貌测量用
导轨类型 滚动导轨
移动长度100MM
直线精度 2 μ m/100mm

测量方式 编码器
WINDOWS
可人机对话、可手动或自动循环测量、自动消除安装误差、手动或自动进行量程转换、直接显示所得形状及各种参数，并可打印输出。可以根据用户要求增减分析处理软件