名称：质量流量计（美国） 
型号：5850E  
  
仪器资料： 
流量范围3Sccm~30Slpm
最大的入口压力150psig(Max1500psig)
操作压力正常范围5~50psid
控制范围50~1
准确选择(类比) ±1.0% of F.S
线性In Accuracy
重复性±0.25% of F.S
反应时间Flow signal:<0.3sec
温度系数±0.1% F.S/°C(N2)
正常的工作温度范围5°C to 65°C
输入电压±15VDC 350mA
类比输入/输出信号0~5Vdc
连接器类型15-pin D-sub
本体材料和封条类型SS 316L & Viton ,Buna-N , Kalrez
漏率标准1*10¯9 atm scc /sec He
管路接头型式1/4"VCR,1/4"SWG
　 1/4"VCO,3/8"SWG
流量在30L/MIN以下都可以的