DEKATK150探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150的详细介绍
测试技术:探针轮廓技术
测试功能:二维表面轮廓测试
样品视场:640*480像素,USB;17 inc 平板显示器
探针传感器:低惯量传感器(LIS 3)
探针压力:使用LIS 3传感器:1至15 mg
使用N-lite传感器:0.03至15 mg
探针选项:探针曲率半径可选范围:50 nm至25 um;
高径比针尖:10 um * 2 um 和200 um*20 um
样品载物台:手动X/Y/@:100*100 mm, 360度旋转,可手动校平;
可选Y自动移动载物台,100 mm行程,1um重现性,0.5 um分辨率;
可选X-Y自动移动载物台,150 mm行程;
1um重现率,0.5 um 分辨率
计算机系统:主机使用celeron或者semprom处理器
软件:Dektak软件
台阶检测软件
可选应力测量软件
可选三维Vision分析软件
可选缝合软件
减震装置:可选桌式震动隔离装置
可选台式震动隔离装置
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