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展位号: 20100826155900
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  铂悦仪器上海有限公司  

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DEKATK150探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150

公司名称: 铂悦仪器上海有限公司
参考价格: 0
发布时间: 2010-08-31
产品描述:

 
性能

扫描长度范围 55mm(2.1英寸)
每次扫描数据点最多12万数据点
最大样品厚度高达90 mm (4英寸),取决于配置
最大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)
台阶高度重现性 6
垂直范围:标准524um(0.02英寸);可选1mm
垂直分辨率:最大1A6.55um垂直范围下)
尺寸:292 mm *508 mm*527 mm
重量:34 kg
电源要求:
输入电压: 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
DEKATK150探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150的详细介绍

 

 
规格:
测试技术:探针轮廓技术
测试功能:二维表面轮廓测试
样品视场:640*480像素,USB17 inc 平板显示器
探针传感器:低惯量传感器(LIS 3
探针压力:使用LIS 3传感器:115 mg
          使用N-lite传感器:0.0315 mg
探针选项:探针曲率半径可选范围:50 nm25 um;
          高径比针尖:10 um * 2 um 200 um*20 um
样品载物台:手动X/Y/@100*100 mm, 360度旋转,可手动校平;
            可选Y自动移动载物台,100 mm行程,1um重现性,0.5 um分辨率;
            可选X-Y自动移动载物台,150 mm行程;
            1um重现率,0.5 um 分辨率
计算机系统:主机使用celeron或者semprom处理器
软件:Dektak软件
      台阶检测软件
      可选应力测量软件
      可选三维Vision分析软件
      可选缝合软件
减震装置:可选桌式震动隔离装置
          可选台式震动隔离装置
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