二氯二氢硅SiH2Cl2
 
 1.别名·英文名
    二氯硅烷；DichIorosilane．
    2.用途
  电子气、外延、化学气相淀积。
    3.制法
  (1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。
   
    (2)在高温下，硅与氢及氯化氢反应，再精馏提纯。
    
    (3 
    (4) 
    4.理化性质
    分子量：    101.010
    熔点：    -122.0℃
    沸点(101.325kPa)：8.2℃
    液体密度(25℃，101.325kPa)：    1220kg/m3
    气体密度(25℃，101.325kPa)：4.168kg/m3
    相对密度(气体，空气=1，25℃，101.325kPa)：3.52·
    比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2391m3/kg
    气液容积比(15℃，100kPa)：    290L/L
临界温度：    176.0℃
临界压力：4676kPa
临界密度：463kg/m3
压缩系数：
温度℃
 压  缩  系    数
 
50kPa
 80kPa
 120kPa
 250kPa
 
15
 0.9859
 0.9772
 0.9654
  
 
50
 0.990
 0.9838
 0.9756
 0.9479
 

    气化热(8.4℃，101.325kPa)：    249.kJ/kg
    比热容(25℃，气体)：    Cp=611.27J/(kg·K)
    蒸气压(-20℃)：    31.4kPa
            (0℃)：    81.1kPa
           (20℃)：    167.2kPa
    粘度(气体，20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s
    表面张力(20℃)：    11.9mN/m
    空气中可燃范围(20℃，101.325kPa)：    4.1%～98.8%(体积)
    自燃点：    100.0℃
    二氯硅烷在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。空气中易燃，100℃以上能自燃，燃烧氧化后生成氯化氢和氧化硅。加热至100℃以上时会自行分解而生成盐酸、氯、氢和不定性硅。施以强烈撞击时也会自行分解。在湿空气中产生腐蚀性烟雾。遇水水解生成盐酸和聚硅氧烷(SiH2O)4。可溶于苯、醚和四氯化碳。与碱、乙醇、丙酮起反应。即使接触小量卤素或其它氧化剂也会发生激烈反应。与三烷基胺、吡啶形成加成化合物。与三氟化锑反应生成氟硅烷。
    5.毒性
    有毒气体范围：    >0.25ppm
    嗅觉浓度：    ～1ppm
    刺激性浓度：    ～10ppm
    最高容许浓度：0.5ppm(2mg/m3)
    二氯硅烷的毒作用主要是由它在湿空气中的水解产物氯化氢引起的。因此，人吸入后激烈刺激呼吸道，引起呛咳、呼吸道发炎、喉痉挛和肺水肿。触到眼睛可引起流泪并导致眼灼伤。接触皮肤可引起化学烧伤。液态二氯硅烷也可引起冷烧伤。
     6.安全防护
    可把二氯硅烷看作火源，禁止在任何火灾危险区存放钢瓶或敷设二氯硅烷的管道。气体用钢瓶贮装，钢瓶要存放在阴凉干燥通风的室外或强制通风的室内，要远离氧化剂、火源和热源。设备管道等使用前须脱水和密封。可用氦探漏器、氨或本身的窒息性气味来检漏。所有设备管道要接地。设备或装置暂时不用或延长停产时间时，应把二氯硅烷放出来，充入干燥的惰性气体。
    有水分时二氯硅烷呈强酸性，腐蚀性极强。对无水二氯硅烷可用铁、低合金钢、镍钢、铜镍合金、镍、海帕伦、蒙乃尔、银、金、铂、钽。不能用铝、铝合金、铜硅合金、黄铜等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、天然橡胶、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯硅烷可能燃烧的地方避免使用可燃性材料。
    当发生火灾时，首先要关闭气瓶阀，断绝气源。灭火时，如果用水，则产生大量氯化氢，如果用碱性粉末，则产生氢气，因此这两者都不可用。可以用二氧化碳和砂子。
    废气可用水或苛性钾等碱液吸收，可以用相应的吸附剂吸附，也可以在严格控制下燃烧。