特点
通过自动定位功能，放置样品后仅需几秒，便能自动对准观察样品焦点。
以最佳的设计实现微小区域下的高灵敏度，即使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度地提高膜厚测量的精度。
将薄膜FP软件进一步扩充，即使没有厚度标准物质也能进行高精度的测量。也可简单地测量多镀层膜和合金膜样品。
通过广域观察系统，能够从画面上的样品整体图（最大250×200mm）中方便地指定测量位置。
型号
SFT-110
测量元素
原子序号22（Ti）～83（Bi）
X射线源
空冷式小型X射线管 管电压： 50kV 管电流： 1mA
检测器
比例计数管
准直器
○型： 0.1mmφ、0.2mmφ 2种
样品观察
CCD摄像头（可进行广域观察）
对焦
激光点（自动）
滤波器
一次滤波器： 自动切换
样品台
（台式尺寸）
（移动量）
500(W) x400(D) x 150（H）mm X:250mm, Y:200mm
操作部
电脑、19寸液晶
测量软件
薄膜FP法 （最多5层膜、10种元素）、标准曲线法
数据处理
配备有Microsoft® Excel、Microsoft® Word
安全机构
样品门连锁、样品的防冲撞功能、仪器诊断功能
选配
• 图像处理软件 • 块体FP软件（材料组成分析） • 块体标准曲线软件（电镀液分析）
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