YX-2D6蓝宝石晶体定向仪的详细介绍
X射线蓝宝石晶体定向仪是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量,对管套、测角仪进行改进,显示器为外置式,样品台加装承重轨道,可测2---6英寸晶圆片,长400毫米,重30公斤的晶棒;主要测量晶面角度:110 、111 、 100、511等及其它相关晶体的晶向角度。
YX-2D6型X射线蓝宝石晶体定向仪标准配置为GA、GC、测角仪。
两边测角仪用户也可根据本公司晶体规格、形状选配不同型号测角台,请参考我公司设计的G系列测角仪(GA、GB、 GC、 GE、 GF、GH)型号选购.
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晶棒直径
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2-6英寸
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晶棒长度
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400mm
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样品板面积
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42×70 mm
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综合精度
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±30″
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显 示 器
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外置式
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显示最小读数
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10″
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数字显示
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外置
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电路原理
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YX-2
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