教学（Teaching）功能
      预先登录检查点，在对同一样品进行检查时就可以提高作业效率。此功能不仅可以记录检查点，而且能够在每个检查点上独立设定透视条件、计测功能，是高级的半自动功能。

步进（Step）功能
      此功能尤其适用于排列于托盘或格子状样品。简单操作就可登录载物台移动的间隔（步进值）和移动方向，而且可以对每个点独立设置X射线照射条件或各种图像计测功能。

例：从左上开始往返	例：从右上开始往返
开始检查点和移动方向的选择有16种组合		执行了步进功能后，计测的点位置和结果被显示在此表中

教学/步进功能的应用操作
      在这两种功能中，不仅能设定计测功能，而且能单独对每个点设定图像保存功能/打印条件、判定不合格的处理方法。

 设定检查点

 执行自动操作

可设定到下个检测点的移动方法是手动前进还是自动前进。如果是自动前进，要设定在检查点上停顿时间。而且还能够在检查过程中要跳过某个检查点或重新检查已做完检查的点。

 计测结果

测量金线曲率	BGA的测量	测量面积比率

没有变形的图像
    平板数字检出器不使用光学镜头，所以检测面是水平的，所以可以得到没有变形且没有暗影的图像

像质优良、高分辨率
    微焦点X射线管球和100万像素的平板数字检出器的组合能得到高分辨率的图像。（使用JIMA标样，分辨率1μm）即使细微的缺陷和构造的改变也能反映出来。

大范围的对比度
    在不改变X射线条件的情况下，调整亮度和对比度就能看到不同强度的X射线所反映的结构图像。采用的平板检出器对比度范围很宽，能够提高作业效率。 （图例：手机的基板）

• 标签式显示
  通过切换标签式功能键，瞬间就可将“观察”、“计测”、“教学”功能进行转换。而且根据不同的使用目的，只切换标签式按键，即可更换与之相适的操作功能环境。
   
• 显示观察点位置
  红色方框显示正在观察的点，如果旋转或倾斜，红框范围、角度也随之改变，这样，即使不看设备内部也能即可掌握观察位置或方向。
   
• 子画面显示
  用作肉眼观察的判别标准图。而且此画面能够当作暂时保存图像的地方，将所有图像都保存后还能实施计测功能。
   
• 最优化观察条件
  “最优化”、“AGC”功能能够自动设定最适合图像显示的条件。
   
• 预设功能
  对观察位置和观察条件能轻松登录，这样在检查时只要选择登录名称就可用保存的条件自动实施检查。