-100PLD脉冲激光沉积系统-美国SVT的详细介绍
美国SVT公司PLD脉冲激光沉积系统
用于沉积金属薄膜，氧化物薄膜，多元素材料薄膜的脉冲激光沉积系统，可以与多种薄膜制备设备连用。凭借多年的科研与实践经验，我公司为许多科研用户独立打造了PLD-MBE连用系统，PLD-UHV Suptter连用系统等。
应用：
ZnO材料功能薄膜
STO薄膜
金属薄膜
超导薄膜
铁电功能薄膜
功能陶瓷膜
技术参数：
超高真空E-10Torr
四／六靶靶台 可公转,自转
温度加热台到1000oC
灵活的泵组合
线形运动挡板
在线检测系统(温度,厚度)
配备高能量激光器
主要特点：
RF射频等离子源(氧,氮)
升级高真空
增加进样室
升级为Laser-MBE （L-MBE）系统
自动软件控制
提供更洁净的薄膜生长环境,完美的温度控制解决方案
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