微小孔及小间隙内壁粗糙度仪

※ 直径100μm的微小孔测量 
※ 直径35μm的高度探针管嘴 
※ 垂直解析度5nm 
※ 9个轴对准所有的孔嘴 
产品520 TPR 是专为测量微小孔及小间隙内壁粗糙度而设计，可得到非常精确的粗糙度值 （Ra, Rt, Rz, RSm...) 
为了实时对准被测孔，本仪器配备了3个自动旋转轴及3个自动转换轴。 
由微量钨和碳纤维组成的传感器，能实现内部形貌的精密测量。这归功于本公司在框架结构下开发的LVDT技术。 
技术规格 
X，Y，Z 轴范围 (mm) Up to 200 x 200 x 200 (motorized) 
解析度 (μm) 0.5 (0.1 in option) 
形貌的直线度 Up to 0.6 μm x 200 mm 
尺寸 L900 x W710 x H1980 
重量 (kg) 650 
PheNIX技术 由ALTIMET公司开发，同时满足工厂及实验室使用 
最大检测速度 250 μm / s 
探针 AltiProbe NEEDLE 
原理 特殊设计的感应传感器 
范围 150 μm to 1.5 mm 
垂直解析度 2 to 60 nm 
侧面解析度 2 μm stylus radius – diameter of 35 μm 
频率 up to 30 KHz 
探针 AltiProbe CLA 
原理 白光CLA (Chromatic Light Aberration) 
范围 Modular confocal optical probeof 300 μm 
垂直解析度 6 to 600 nm (accuracy: 20 nm to 3 μm) 
侧面解析度 up to 1.1 μm 
探针 AltiProbe Inductive 
原理 标准电感传感器或特定的触针 
范围 150 μm to 1.5 mm 
垂直解析度 2 to 60 nm 
侧面解析度 2 μm stylus radius 60°or 90° or customized 
配备 
分析软件 Altimap suite: Lab to line interface (control card). Self macro analysis 
CCD Camera 测量区域的观察和选择 Zoom up to x1200